mems是什么意思(半导体mems是什么意思)

时间:2023-07-07人气:作者:佚名

mems是什么意思(半导体mems是什么意思)

mems即微机电系统(英语:Microelectromechanical Systems,缩写为MEMS)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术,它的操作范围在微米范围内。比它更小的,在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。

标签: 范围内  英语  微机  机械工程  缩写  
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